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非電量電測(cè)量技術(shù)具有測(cè)量精度高、反應(yīng)速度快、能自動(dòng)連續(xù)地進(jìn)行測(cè)量、可進(jìn)行遙測(cè)、便于自動(dòng)記錄,可與計(jì)算機(jī)連接進(jìn)行數(shù)據(jù)處理、可采用微處理器做成智能儀表、能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)與轉(zhuǎn)換等優(yōu)點(diǎn),在國(guó)民經(jīng)濟(jì)各部門(mén)得到廣泛應(yīng)用。
隨機(jī)誤差是由很多復(fù)雜因素的微小變化的總和引起的,如儀表中傳動(dòng)部件的間隙和摩擦、連接件的彈性變形、電子元器件的老化等。隨機(jī)誤差具有隨機(jī)變量的一切特點(diǎn)這種方法預(yù)先將被測(cè)量器具的系統(tǒng)誤差檢定或計(jì)算出來(lái),做出誤差表或誤差曲線,然后取與誤差數(shù)據(jù)大小相同而符號(hào)相反的值作為修正值,將實(shí)際測(cè)得值加上相應(yīng)的修正值,即可得到不包含該系統(tǒng)誤差的測(cè)量結(jié)果。
在機(jī)械制造業(yè)中,需要測(cè)量位移、尺寸、力、振動(dòng)、速度、加速度等機(jī)械量參數(shù),利用非電量電測(cè)儀器,監(jiān)視刀具的磨損和工件表面質(zhì)量的變化,防止機(jī)床過(guò)載,控制加工過(guò)程的穩(wěn)定性。此外,還可用非電量電測(cè)單元部件作為自動(dòng)控制系統(tǒng)中測(cè)量反饋量的敏感元件(如光柵尺、容柵尺等)控制機(jī)床的行程、啟動(dòng)、停止和換向。在化工行業(yè)需要在線檢測(cè)生產(chǎn)過(guò)程的溫度、壓力、流量、物位等熱工量參數(shù),實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝過(guò)程的有效控制,確保生產(chǎn)過(guò)程能正常高效地進(jìn)行,確保生產(chǎn)安全,防止事故發(fā)生。
由于微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、通信技術(shù)及網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的迅速發(fā)展,對(duì)電量的測(cè)量技術(shù)相應(yīng)地得到提高,如準(zhǔn)確度高、靈敏度高、反應(yīng)速度快、能夠連續(xù)進(jìn)行測(cè)量、自動(dòng)記錄、遠(yuǎn)距離傳輸和組成測(cè)控網(wǎng)絡(luò)等。可是,在工程上所要測(cè)量的參數(shù)大多數(shù)為非電量,如機(jī)械量(位移、尺寸、力、振動(dòng)、速度等)、熱工量(溫度、壓力、流量、物位等)、成分量(化學(xué)成分、濃度等)和狀態(tài)量(顏色、透明度、磨損量等),因而促使人們用電測(cè)的方法研究非電量,即研究用電測(cè)的方法測(cè)量非電量的儀器儀表,研究如何能正確和快速地測(cè)得非電量的技術(shù)。
傳感器的靜態(tài)特性曲線可通過(guò)實(shí)際測(cè)試獲得。在實(shí)際應(yīng)用中,為了得到線性關(guān)系,往往引入各種非線性補(bǔ)償環(huán)節(jié)。如采用非線性補(bǔ)償電路或計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行線性化處理,或采用差動(dòng)結(jié)構(gòu),使傳感器的輸出-輸入關(guān)系為線性或接近線性。
在時(shí)域內(nèi)研究傳感器的動(dòng)態(tài)特性時(shí),常用的激勵(lì)信號(hào)有階躍函數(shù)、脈沖函數(shù)和斜坡函數(shù)等。傳感器對(duì)所加激勵(lì)信號(hào)的響應(yīng)稱為瞬態(tài)響應(yīng)。 標(biāo)定的基本方法是利用一種標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備產(chǎn)生的已知非電量(如標(biāo)準(zhǔn)力、壓力、位移等)作為輸入量,輸入待標(biāo)定的傳感器,得到傳感器的輸出量。然后將傳感器的輸出量與輸入的標(biāo)準(zhǔn)量進(jìn)行比較,從而獲得一系列校準(zhǔn)數(shù)據(jù)或標(biāo)定曲線。有時(shí)輸入的標(biāo)準(zhǔn)量利用標(biāo)準(zhǔn)傳感器檢測(cè)而得,這時(shí)的標(biāo)定實(shí)質(zhì)上是待標(biāo)定傳感器與標(biāo)準(zhǔn)傳感器之間的比較。
開(kāi)發(fā)傳感器的新型敏感元件材料和采用新的加工工藝。新型敏感元件材料的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用是非電量電測(cè)技術(shù)的一項(xiàng)重要任務(wù),其發(fā)展趨勢(shì)為:從單晶體到多晶體、非晶體,從單一型材料到復(fù)合型材料、原子(分子)型材料的人工合成。傳感器是一種以一定精確度把被測(cè)量(主要是非電量)轉(zhuǎn)換為與之有確定關(guān)系、便于應(yīng)用的某種物理量(主要是電量)的測(cè)量裝置。這一定義包含了以下幾方面的含義:①傳感器是測(cè)量裝置,能完成檢測(cè)任務(wù);②它的輸入量是某一被測(cè)量,如物理量、化學(xué)量、生物量等;